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德國(guó)費(fèi)希爾 X 射線熒光測(cè)厚儀 XULM240，是一款在材料檢測(cè)領(lǐng)域備受矚目的精密儀器。
它配備微聚焦 X 射線管，焦點(diǎn)尺寸≤50μm，配合可電動(dòng)切換的準(zhǔn)直器，最小測(cè)量點(diǎn)直徑僅 0.1mm ，能精準(zhǔn)測(cè)量半導(dǎo)體芯片金線鍍層、精密傳感器電極等微型結(jié)構(gòu)。其比例計(jì)數(shù)器探測(cè)器實(shí)現(xiàn)高計(jì)數(shù)率，結(jié)合費(fèi)希爾基本參數(shù)法，無(wú)需標(biāo)準(zhǔn)片即可完成高精度測(cè)量，如 80nm 金鍍層的重復(fù)精度可達(dá) 2.5nm ，鍍層厚度測(cè)量精度達(dá)納米級(jí)。
XULM240 還內(nèi)置 500 萬(wàn)像素彩色視頻顯微鏡，支持 38x - 184x 光學(xué)變焦，可實(shí)時(shí)觀察樣品表面細(xì)節(jié)并標(biāo)記測(cè)量區(qū)域，定位精度達(dá) ±0.005mm 。通過(guò) WinFTM® 軟件，能預(yù)設(shè)測(cè)量程序（最多 100 組），進(jìn)行數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析并生成報(bào)告，滿足 ISO 9001 等質(zhì)量管理體系要求。
在應(yīng)用上，它適用于線路板行業(yè) Au/Ni/Cu/PCB 或 Sn/Cu/PCB 等鍍層測(cè)量；電子行業(yè)接插件和觸點(diǎn)的鍍層測(cè)量；裝飾性鍍層 Cr/Ni/Cu/ABS 測(cè)量；批量生產(chǎn)部件（螺絲和螺母）防腐鍍層如 Zn/Fe、ZnNi/Fe 測(cè)量；珠寶和手表行業(yè)以及測(cè)定電鍍槽中的金屬含量等領(lǐng)域，為各行業(yè)的質(zhì)量管控與生產(chǎn)過(guò)程控制提供有力支持。
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